Пластины монокристаллического кремния

Изготовление кремниевых пластин диаметром до 200 мм из слитков монокристаллического кремния ТУ 48-4-295, ГОСТ 19658 в соответствии с ТУ РБ 200181967.026-2002, ТУ РБ 200181967.151-2010 или со специальными требованиями Заказчика.

ТУ РБ 200181967.026-2002 распространяются на рабочие и контрольные кремниевые пластины диаметром 76, 100, 150 мм (актулизиронные ЕТО.035.124 ТУ, ЕТО.035.578 ТУ, ЕТО.035.206 ТУ)

ТУ РБ 200181967.151-2010 распространяются на пластины диаметром 100, 150, 200 мм для изделий с проектными нормами 1,2; 0,8; 0,5; 0,35 мкм.